德國研制柔性超薄霍爾效應(yīng)傳感器
發(fā)布時(shí)間:2015-02-15
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來源:中國科技部
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霍爾效應(yīng)傳感器目前已在機(jī)器人及各種智能設(shè)備上獲得廣泛應(yīng)用,成為一種標(biāo)準(zhǔn)的傳感器。但目前常用的此類傳感器為剛性材料制成,且體積較大(厚度約0.5毫米)。德國萊布尼茨固體物理與材料研究所的研究人員,用聚酰亞胺或聚醚醚酮(PEEK)薄膜材料作為基底,在其上噴射形成約230 納米厚度的金屬鉍層,導(dǎo)入微小的電極,研發(fā)出一種薄膜形狀的霍爾效應(yīng)傳感器,這種新型傳感器對磁信號的敏感性與目前常用的霍爾效應(yīng)傳感器相當(dāng),但厚度大大減低,特別是器件具有很強(qiáng)的柔韌性,能以6毫米的曲率半徑反復(fù)折彎而不至損壞。這種傳感器的具有廣泛的應(yīng)用前景,如嵌入智能紡織物,制成特殊的衣服,隨時(shí)監(jiān)控人體的各種功能;也可作為機(jī)器人的控制單元傳感元件,或用于電機(jī)中磁場的測量等。