一種可抗2000℃瞬時(shí)超高溫沖擊的硅隔離耐高溫壓力傳感器日前在西安交大精密工程研究所研制成功。專家認(rèn)為，這一國(guó)家“863”計(jì)劃項(xiàng)目的完成，將有效解決我國(guó)航空航天、石油化工、汽車(chē)工業(yè)等領(lǐng)域高溫環(huán)境下壓力測(cè)量和瞬時(shí)高溫沖擊下傳感器失效的技術(shù)難題，打破了國(guó)外同類產(chǎn)品對(duì)我國(guó)傳感器市場(chǎng)的壟斷，提升了我國(guó)這一行業(yè)的整體水平和國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)能力，具有很高的推廣和使用價(jià)值。常規(guī)的硅壓力傳感器只能在120℃以下進(jìn)行壓力測(cè)量，超過(guò)120℃時(shí)，傳感器的性能會(huì)嚴(yán)重惡化以至失效。常規(guī)的測(cè)量方法和手段不能滿足高溫等惡劣環(huán)境下的壓力測(cè)量和自動(dòng)化領(lǐng)域越來(lái)越高的測(cè)量精度要求，致使我國(guó)高溫壓力傳感器產(chǎn)品長(zhǎng)期以來(lái)主要依賴進(jìn)口。西安交大研制的耐高溫壓力傳感器能在-30℃～250℃環(huán)境下進(jìn)行壓力測(cè)量，可完成1000MPa以下任意量程范圍的壓力測(cè)量，能承受2000℃瞬時(shí)高溫沖擊。可滿足高溫、高壓、高頻響及瞬時(shí)高溫沖擊等惡劣環(huán)境下的壓力測(cè)量，具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)在此領(lǐng)域的多項(xiàng)空白，對(duì)于推動(dòng)我國(guó)儀器儀表工業(yè)的發(fā)展，培養(yǎng)新的經(jīng)濟(jì)增長(zhǎng)點(diǎn)具有重要意義。