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《微、納米功能薄膜分析方法研究及其國家標(biāo)準(zhǔn)制訂》項(xiàng)目通過驗(yàn)收

發(fā)布時(shí)間：2016-01-04 作者： 來源：上海市計(jì)測院 瀏覽：1585
    近日，由上海市計(jì)測院承擔(dān)的上海市質(zhì)量技術(shù)監(jiān)督局科研項(xiàng)目《微、納米功能薄膜分析方法研究及其國家標(biāo)準(zhǔn)制訂》（項(xiàng)目編號(hào)：2013-49）順利通過專家驗(yàn)收。
    微、納米功能薄膜材料在戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)中扮演非常重要的角色，已被廣泛應(yīng)用于太陽能電池、集成電路、半導(dǎo)體存儲(chǔ)器件、氣體傳感器等領(lǐng)域。而針對(duì)薄膜開展測量方法研究也是確保產(chǎn)品質(zhì)量，改進(jìn)生產(chǎn)工藝，以及查找產(chǎn)品失效原因的基礎(chǔ)。項(xiàng)目組結(jié)合當(dāng)前微、納米薄膜測量研究難點(diǎn)，開展了利用輝光放電發(fā)射光譜分析金屬氧化物膜的方法研究，完成了《表面化學(xué)分析輝光放電發(fā)射光譜 金屬氧化物膜的分析》國家標(biāo)準(zhǔn)制訂。該標(biāo)準(zhǔn)的制訂為功能薄膜的測量提供可依靠的標(biāo)準(zhǔn)方法，也為相關(guān)薄膜測量儀器的研制以及薄膜測量結(jié)果的一致性提供技術(shù)支持，填補(bǔ)了我國在利用輝光放電發(fā)射光譜分析金屬氧化物膜標(biāo)準(zhǔn)方法的空白。項(xiàng)目組圍繞項(xiàng)目研究內(nèi)容發(fā)表研究論文3篇，制定國家標(biāo)準(zhǔn)1項(xiàng)。項(xiàng)目研究成果得到驗(yàn)收專家的一致認(rèn)可。
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