近日,由同濟(jì)大學(xué)承辦的東方科技論壇第281期學(xué)術(shù)研討會在上海舉行。來自同濟(jì)大學(xué)、北京大學(xué)、清華大學(xué)、上海理工大學(xué)、西安交通大學(xué)、中國科學(xué)院微電子研究院、上海交通大學(xué)、復(fù)旦大學(xué)、天津大學(xué)、中國計量科學(xué)研究院、國家納米科學(xué)中心、德國聯(lián)邦物理技術(shù)研究院等高校、研究機(jī)構(gòu)和企業(yè)的40余位專家學(xué)者參加了會議。與會專家圍繞圍繞納米計量儀器、技術(shù)和傳遞標(biāo)準(zhǔn);納米技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化;以及納米制造對計量和標(biāo)準(zhǔn)化的需求這三個中心議題,共同探討納米制造對計量技術(shù)的需求、納米計量的發(fā)展現(xiàn)狀和未來方向,以求推動納米計量技術(shù)的進(jìn)步,支撐納米制造領(lǐng)域的發(fā)展。
會上,李同保、金國藩、蔣莊德、莊松林、劉明等院士與專家建議,我國須加強(qiáng)探索并發(fā)展基于新原理、新方法和新技術(shù)的納米計量儀器和納米傳遞標(biāo)準(zhǔn),獨(dú)立自主地構(gòu)建我國納米計量體系,對我國數(shù)十萬臺納米測量儀器進(jìn)行校準(zhǔn)和溯源,提升我國納米制造的技術(shù)能力,為我國成為制造業(yè)強(qiáng)國提供計量支撐。
自改革開放以來,中國的制造業(yè)規(guī)模和制造技術(shù)水平都有了顯著的發(fā)展和提高。著眼未來,中國要從經(jīng)濟(jì)大國邁向經(jīng)濟(jì)強(qiáng)國,首先要成為制造業(yè)強(qiáng)國。世界各國都在加強(qiáng)對制造技術(shù)的研究,力求在世界科技經(jīng)濟(jì)格局中處于領(lǐng)先地位,如德國的工業(yè)4.0,美國的“制造業(yè)復(fù)興”和我國的“中國制造2025”等。
本次論壇執(zhí)行主席、同濟(jì)大學(xué)教授李同保表示,制造領(lǐng)域幾乎所有的創(chuàng)新和技術(shù)進(jìn)步都離不開納米科技,納米科技已成為國防戰(zhàn)略和新興產(chǎn)業(yè)的制高點(diǎn),對國家安全和國民經(jīng)濟(jì)建設(shè)具有重大作用。
中科院院士、中科院微電子研究所研究員劉明等認(rèn)為,隨著器件的特征尺寸進(jìn)入納米量級(1納米~100納米),加工制造過程中的不確定性顯著增加,加工誤差對器件性能的影響也越來越大。納米計量不僅是測量和表征納米尺度器件的基礎(chǔ),同時在納米加工工藝控制和質(zhì)量管理領(lǐng)域也扮演重要角色,它是微電子、微機(jī)械、超精密加工、納米醫(yī)學(xué)、納米生物學(xué)等領(lǐng)域中不可回避的關(guān)鍵科學(xué)與技術(shù)問題。
國際上對納米計量技術(shù)的研究主要集中在計量型納米精度檢測技術(shù)和納米尺度傳遞標(biāo)準(zhǔn)兩方面。納米計量像一把“尺子”,可以為具有納米精度的儀器裝置和實(shí)物標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行校準(zhǔn),測量結(jié)果可溯源于國際單位制,準(zhǔn)確性和可靠性大幅度提高。
中國已成為世界納米科技大國,構(gòu)建了龐大的納米制造研發(fā)和生產(chǎn)體系,擁有sem、afm等納米測量儀器數(shù)十萬臺。但是納米計量技術(shù)、測試儀器和傳遞標(biāo)準(zhǔn)卻相對較少,這嚴(yán)重制約了我國納米制造技術(shù)和相關(guān)行業(yè)的進(jìn)一步發(fā)展。對此,西安交通大學(xué)教授蔣莊德表示:“作為‘中國制造2025’的基礎(chǔ)與核心技術(shù),計量測試與傳感技術(shù)的發(fā)展面臨新的挑戰(zhàn)和機(jī)遇。”
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