制造領(lǐng)域幾乎所有的創(chuàng)新和技術(shù)進步都離不開納米技術(shù)，而納米計量不僅是測量和表征納米尺度器件的基礎(chǔ)，也是微電子、微機械、超精密加工、納米醫(yī)學(xué)、納米生物學(xué)等領(lǐng)域中不可回避的關(guān)鍵科學(xué)與技術(shù)問題。記者今天從浙江省計量科學(xué)研究院獲悉，日前，該院“掃描探針顯微鏡校準(zhǔn)裝置”通過了專家組現(xiàn)場考核，建立了省內(nèi)首個納米計量領(lǐng)域社會公用計量標(biāo)準(zhǔn)。

    “中國是世界納米科技大國，構(gòu)建了龐大的納米制造研發(fā)和生產(chǎn)體系，擁有數(shù)十萬臺納米測量儀器。但是納米計量技術(shù)、測試儀器和傳遞標(biāo)準(zhǔn)卻相對較少，制約了我國納米制造技術(shù)和相關(guān)行業(yè)的進一步發(fā)展?！睋?jù)浙江省計量科學(xué)研究院長度與光學(xué)計量研究所副所長茅振華介紹，目前，在國家計量基標(biāo)準(zhǔn)資源共享平臺項目“微納計量標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)在華東地區(qū)的專題服務(wù)”的支持下,經(jīng)過兩年多的研究,該院已基本具備微納幾何結(jié)構(gòu)關(guān)鍵尺寸的計量校準(zhǔn)能力，建立了我省的納米計量量值傳遞的社會公用計量標(biāo)準(zhǔn)，可為半導(dǎo)體企業(yè)、精密加工中心的關(guān)鍵尺寸測量提供量值溯源至國家基準(zhǔn)的途徑，更加全面準(zhǔn)確地為半導(dǎo)體、微電子行業(yè)的納米尺度關(guān)鍵尺寸檢測提供技術(shù)保障。

    目前，浙江省計量科學(xué)研究院的掃描探針顯微鏡校準(zhǔn)裝置由5個納米臺階高度標(biāo)準(zhǔn)樣板構(gòu)成，標(biāo)稱值分別為50nm、100nm、200nm、500nm、1000nm，相對不確定度為Urel=2.8％～0.6％(k=2)，標(biāo)準(zhǔn)樣板均由納米幾何結(jié)構(gòu)計量標(biāo)準(zhǔn)裝置進行絕對法定值，定值結(jié)果可直接溯源至激光波長國家基準(zhǔn)。該校準(zhǔn)裝置已經(jīng)達到國內(nèi)領(lǐng)先水平，能夠校準(zhǔn)如掃描探針顯微鏡(SPM)、原子力顯微鏡(AFM)、臺階儀、輪廓儀等多種微納米級測量儀器。